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１．純水洗浄との比較実験
GC3000ERとDI waterとの洗浄能力比較です。以下の条件下での残留パーティクルの数を比較しています。
- ガラスパネルの大きさ： 1,500mm×1,850mm
- TFT、ロールブラシ、ラインスピード： 10m/min, 30℃, 1Lot
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▼GC3000ERによる洗浄
| Slot |
1µm |
3µm |
5µm |
合計 |
| 1 |
252 |
57 |
85 |
394 |
| 10 |
605 |
80 |
81 |
766 |
| 20 |
587 |
74 |
92 |
753 |
| 30 |
625 |
68 |
91 |
784 |
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▼DI waterによる洗浄
| Slot |
1µm |
3µm |
5µm |
合計 |
| 1 |
474 |
57 |
80 |
611 |
| 10 |
14,519 |
1,167 |
505 |
16,191 |
| 20 |
49,248 |
3,101 |
360 |
52,709 |
| 30 |
52,797 |
3,596 |
442 |
56,835 |
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| ※1Slot：30個 |
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他社製品との性能比較実験
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GC3000ERと代表的な洗剤２種（スイス製サンプル、日本製サンプル）との性能比較実験です。
- TFT、ロールブラシ、ラインスピード： 10m/min, 30℃, 1Lot
- ガラス基板の大きさ： 620mm×720mm
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1µm |
3µm |
5µm |
合計 |
| スイス製 |
71.0 |
9.3 |
12.1 |
92.4 |
| 日本製 |
67.2 |
7.8 |
7.6 |
82.6 |
| GC3000ER |
44.2 |
6.3 |
3.8 |
54.3 |
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結果
- パーティクルの除去能力がスイス製サンプルより35.4%、日本製サンプルより28.1%優秀
- 単位密度で換算する場合： 0.0069EA/cm2
- 小と大のパーティクルに対して優秀な洗浄能力がある
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耐腐食性実験
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JIS（日本工業規格）K0100 & JIS K2234
- 各々の金属をGC3000ER、純水にそれぞれ沈底させる。
- 沈積時間 14日
- 温度： 20℃±5℃
- サンプル金属の大きさ： 50mm×30mm×1mm
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腐食率 （mdd=mg/dm2/day）
| 金属の種類 |
GC3000ER |
純水 |
許容範囲 |
| 鋳鉄（FC200） |
1.220 |
4.850 |
5.0以下 |
| 噴射鋼（SPDD-B） |
0.285 |
0.578 |
1.0以下 |
| SUS405 |
0.001 |
0.013 |
0.1以下 |
| アルミニウム（AC2A-F） |
0.088 |
0.192 |
0.1以下 |
| 銅（C1100P） |
0.016 |
0.189 |
0.1以下 |
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